[发明专利]电解研磨方法和装置有效

专利信息
申请号: 201980002441.6 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN110637108B 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 井田义明;山口隆宣;V·舒罕;仁井启介;水户谷刚;赤堀卓央;宫野健一;高桥福巳;姉带康则;早野仁司;文珠四郎秀昭;加藤茂树;佐伯学行 申请(专利权)人: 丸井镀金工业株式会社;东日本机电开发株式会社;株式会社WING
主分类号: C25F7/00 分类号: C25F7/00;C25F3/16
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明能够使空心管内表面的电解研磨的研磨量进一步平均化。纵向保持空心管的保持框相对于架台在纵向中央以翻转自如的方式被轴支承。上述空心管中插通电极,并且在上述空心管的两端设置液体缓冲器。阀构件能够以无论是在上述保持框的翻转(空心管的翻转)前还是翻转后,都能够经由下方的液体缓冲器供给电解液且经由上方的液体缓冲器排出电解液的方式,切换供给排出液体回路。当然,在上述的翻转前后的电解液的供给期间进行规定时间的电解处理。上述阀构件的切换可以通过手动进行,也可以使用控制单元进行。
搜索关键词: 电解 研磨 方法 装置
【主权项】:
1.一种电解研磨装置,其特征在于,具有:/n架台;/n保持框,相对于所述架台,在纵向中央以沿着垂直面上下翻转自如的方式被轴支承,并纵向保持空心管;/n电极,插通于所述空心管;/n液体缓冲器,设置于所述空心管的两端;和/n阀构件,无论是进行所述上下翻转的空心管的翻转前还是翻转后,都使电解液从下方的液体缓冲器向上方的液体缓冲器循环于空心管内。/n
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