[发明专利]一种激光二极管及其制作方法有效
申请号: | 201980004876.4 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN111279564B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 钟志白;李佳恩;卓昌正;徐宸科;康俊勇 | 申请(专利权)人: | 厦门三安光电有限公司 |
主分类号: | H01S5/125 | 分类号: | H01S5/125;H01S5/20;H01S5/22 |
代理公司: | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人: | 高园园 |
地址: | 361100 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光二极管及其制作方法。其中,所述激光二极管包括:衬底,以及位于衬底上的堆叠层,所述堆叠层包括:N型层,活性层,表面具有脊状条的P型层以及DBR覆盖层;其特征在于,所述脊状条的端面为第一斜面,所述脊状条与所述DBR覆盖层的接触面包括第一斜面。所述制作方法包括步骤:在衬底上依次外延生长N型层、活性层和P型层,并制作带有脊状条的P型层;沿垂直于脊状条长度的方向对所述脊状条进行劈裂,得到脊状条的端面为第一斜面;进行DBR覆盖层生长,所述DBR覆盖层与所述脊状条的接触面包括所述第一斜面。它旨在解决垂直腔面造成边角的DBR覆盖不好,侧镀的DBR又会影响到激光二极管的共晶,从而导致的激光二极管电性不良。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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