[发明专利]抛光系统、抛光基板的方法和计算机储存介质有效
| 申请号： | 201980005214.9 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN111246970B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 徐坤;丹尼斯·伊万诺夫;哈里·Q·李;钱隽 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/20;B24B49/10;H01L21/304;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及抛光系统、抛光基板的方法和执行该方法的计算机存储介质。在抛光系统和抛光方法中，针对传感器的每次扫描，从原位监测系统所接收的数据包括层上的多个不同位置的多个测量到的信号值。基于来自该原位监测系统的该数据确定抛光垫的厚度。针对每次扫描，基于该抛光垫的该厚度来调整该些测量到的信号值的一部分。针对多次扫描中的每次扫描和多个不同位置中的每个位置，生成表示该位置处的该层的厚度的值。此举包括使用由机器学习来构造的一个或多个处理器来处理这些调整后信号值。基于表示该多个不同位置处的该些厚度的该些值来检测抛光终点或更改抛光参数。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 系统 方法 计算机 储存 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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