[发明专利]靶材与背板的接合体以及靶材与背板的接合体的制造方法在审
| 申请号： | 201980005486.9 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN112135922A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 永津光太郎;山田裕贵 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/00;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种靶材与背板的接合体，其具有含有Ta的靶材和接合于所述靶材的背板，所述靶材与背板的拉伸强度为20kg/mm |
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| 搜索关键词： | 背板 接合 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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