[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201980006159.5 申请日: 2019-05-08
公开(公告)号: CN111448656B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 山田教文 申请(专利权)人: 富士电机株式会社
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L21/60;H01L21/82;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 半导体装置包括:半导体芯片(30),其包含半导体基板(29)、半导体基板(29)的上表面的上表面电极(31‑1、31‑2)、选择性地覆盖上表面电极(31‑1、31‑2)的上表面的端部的绝缘膜(34)以及覆盖上表面电极(31‑1、31‑2)的上表面的在绝缘膜(34)的开口部暴露的部分的镀层(33‑1、33‑2);金属布线板(60),其包含位于绝缘膜(34)的上方和镀层(33‑1、33‑2)的上方的接合部(61),并自接合部(61)的下表面向上方设有槽部(66‑1);以及软钎料部(25),其填满槽部(66‑1),将接合部(61)的下表面与镀层(33‑1、33‑2)接合,在俯视时,绝缘膜(34)与镀层(33‑1、33‑2)之间的边界线AR、AL配置于槽部(66‑1)的内侧,软钎料部(25)在边界线AR、AL上的厚度厚于在镀层(33‑1、33‑2)上的厚度。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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