[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201980006665.4 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111684100B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 北沢僚也;仓田敬臣 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够抑制蒸镀材料的大飞散角度所产生的影响的蒸镀装置。本发明的一方式的基板保持装置，具有蒸发源、支撑机构、限制板以及腔体。蒸发源收纳蒸镀材料，并具有加热蒸镀材料的加热机构。支撑机构在与蒸发源相向的位置支撑蒸镀对象物。限制板被配置在相对于蒸发源与所述蒸镀对象物的中点靠蒸镀对象物侧的位置，限制蒸镀材料的飞散路径。腔体收纳蒸发源、支撑机构以及限制板。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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