[发明专利]光致抗蚀剂去除剂组合物在审
| 申请号： | 201980006788.8 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111512239A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | R·阿伦特;吴恒鹏;林观阳 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈晰 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及组合物，其基本上由以下物质组成：选自樟脑磺酸和结构(I)的苯磺酸的磺酸组分，其中R为H或C‑1至C‑18正烷基，草酸、溶剂组分，所述溶剂基本上由有机溶剂组分或有机溶剂组分与水的混合物组成，其中有机溶剂组分由约100wt％至约85wt％的所述溶剂组分组成，和进一步其中所述有机溶剂组分或为选自由溶剂(III),(IV),(V),(VI)(其中R选自‑(‑O‑CH |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 去除 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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