[发明专利]真空泵系统在审
| 申请号： | 201980006803.9 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111512050A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·施奈德斯 | 申请（专利权）人： | 莱宝有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;H01J49/24 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 于未茗 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空泵系统，其具有串联布置的至少两个室(10、12)。涡轮分子泵(18)连接到第二室或最后一个室，并且多级罗茨泵(24)连接到第一室，其中，第一室(10)的出口(25)连接到多级真空泵的中间入口(26)，并且涡轮分子泵(18)的出口(20)连接到多级真空泵(24)的主入口(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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