[发明专利]用于离子注入机的氢气发生器在审
| 申请号： | 201980007028.9 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111542909A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·科尔文;哲-简·谢;理查德·雷舒特;温迪·科尔比 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于离子注入系统的终端，其中该终端具有用于支撑离子源(108)的终端壳体(154)，该离子源配置成形成离子束。该终端壳体内的气体箱(146)具有氢气发生器(144)，该氢气发生器配置成产生用于离子源的氢气。气体箱与终端壳体电隔离并进一步电耦合到离子源。离子源和气体箱通过多个电绝缘体与终端壳体电隔离。多个绝缘支座(156)使终端壳体与大地电隔离。终端电源使终端壳体相对于大地电偏置到终端电势。离子源电源使离子源相对于终端电势电偏置到离子源电势。导电管(148)使气体箱与离子源电耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 氢气 发生器 | ||
【主权项】：
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