[发明专利]功率模块用基板的制造方法及陶瓷-铜接合体在审
申请号: | 201980007310.7 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN111566807A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 北原丈嗣;大开智哉;长友义幸 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L23/13;H05K1/02;H05K3/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 辛雪花;周艳玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种生产率高的功率模块用基板的制造方法及减少了翘曲的陶瓷‑铜接合体。接合体形成工序中,在陶瓷板的第1面并列接合多个第1铜板,由此形成由多个第1铜层所成的所述电路层形成用铜层,并且在陶瓷板的第2面以覆盖通过分割槽划分的各个陶瓷基板的基板形成区域之中相邻的至少两个基板形成区域的方式接合第2铜层,所述第2铜层的平面面积比第1铜板的平面面积大且厚度比第1铜板的厚度小,由此形成由第2铜层所成的金属层形成用铜层,所述第2铜层的配置数比第1铜层的配置数少。 | ||
搜索关键词: | 功率 模块 用基板 制造 方法 陶瓷 接合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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