[发明专利]传感器芯片及力传感器装置有效
| 申请号： | 201980008152.7 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111587368B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 山口真也 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/167 | 分类号： | G01L5/167;B81B3/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本传感器芯片具有：基板；第一支撑部；第二支撑部，其周围配置有上述第一支撑部，且配置于上述基板的中央；第一探测用梁，其连结相邻的上述第一支撑部彼此；第二探测用梁，其在上述第一探测用梁与上述第二支撑部之间与上述第一探测用梁平行地设置；力点，其配置于上述第一探测用梁，且被施加力；以及多个形变检测元件，其配置于上述第一探测用梁及上述第二探测用梁的预定位置。上述多个形变检测元件包括：第一检测部，其具有能够检测上述第一方向的力的形变检测元件；以及第二检测部，其具有能够检测上述第一方向的力且设置在相对于上述第一检测部对称的位置的形变检测元件。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 芯片 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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