[发明专利]流量控制装置以及流量控制方法在审
| 申请号： | 201980008651.6 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN111788534A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 杉田胜幸;西野功二;安本直史;平田薰;小川慎也;并手口圭佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量控制装置(100)，其具备：设置于流路(1)的控制阀(6)；对通过控制阀(6)控制的流体的流量进行测定的流量测定部(2、3)；以及控制器(7)，控制器(7)构成为：对控制阀(6)的开闭动作进行控制，使得基于从流量测定部输出的信号的测定积分流量((Vn+Vd))与目标积分流量(Vs)一致。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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