[发明专利]电容元件及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201980009942.7 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111656475B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李东伟;安东靖典 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | H01G5/06 | 分类号： | H01G5/06;H01G5/013;H01G5/08;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种电容元件及等离子体处理装置。在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。电容元件包括：收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且在所述收纳容器的上壁形成有用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 元件 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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