[发明专利]在电镀系统中的清洁部件和方法有效
| 申请号： | 201980009978.5 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111655910B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 凯尔·M·汉森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/00 | 分类号： | C25D21/00;C25D17/00;C25D17/06;C23G1/02;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于清洁电镀系统部件的系统可包括密封件清洁组件，密封件清洁组件与电镀系统结合。密封件清洁组件可包括臂，臂于第一位置和第二位置之间为可枢转的。臂可绕着臂的中央轴为可旋转的。密封件清洁组件亦可包括清洁头，清洁头包括托架部，托架部与臂的远端部耦接。清洁头可由前部作为特征，前部形成为与电镀设备的密封件接合。清洁头可沿着前部限定沟槽，并且清洁头可限定多个流体通道，这些流体通道穿过清洁头，所述多个流体通道的每一个流体通道流体地通往沟槽的背侧。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 系统 中的 清洁 部件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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