[发明专利]用于产生和烧结细微线条和图案的方法和装置有效
申请号: | 201980011088.8 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN111683770B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 加里·阿鲁季诺夫;艾德斯格尔·康斯坦·彼得·斯米茨;杰伦·范·登·布兰德 | 申请(专利权)人: | 荷兰应用科学研究会(TNO) |
主分类号: | B22F3/105 | 分类号: | B22F3/105;B22F7/04;C23C24/10;B23K26/00;B23K26/06;B23K26/08;B23K26/342;B23K101/36 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 石磊 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明旨在提供一种在基底上产生小传导迹线的无接触方法。因此,提供用于选择性材料沉积的方法,其包括:将第一材料沉积于基底上;然后通过一个或多个能量束以第一固化图案使第一材料选择性固化;及然后通过大面积光子曝光来推进非固化材料远离基底,在选时、能量及强度上受控以留下第一材料的固化第一图案。 | ||
搜索关键词: | 用于 产生 烧结 细微 线条 图案 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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