[发明专利]雷射引发前向传送(LIFT)沉积设备及方法有效
| 申请号： | 201980011867.8 | 申请日： | 2019-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111684099B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 加里·阿鲁季诺夫 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用科学研究会(TNO) |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;B23K26/02;B23K26/06;C23C14/28;C23C14/54;B23K26/073;B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘彬 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种沉积方法，其中一施体基板(10)与一目标基板(20)相对而配置，该施体基板具有一表面(12)，而该表面(12)系面对该目标基板且具备一黏性施体材料(14)。一光束(30)经由该施体基板被导引至该施体材料，以便释放该施体材料且借此朝向该目标基板传送该施体材料作为一喷射。在本文所提供之方法中，一输入信号(D |
||
| 搜索关键词： | 雷射 引发 传送 lift 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于荷兰应用科学研究会(TNO)，未经荷兰应用科学研究会(TNO)许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980011867.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
