[发明专利]用于修复衬底支撑件的系统、装置和方法在审
| 申请号： | 201980011939.9 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111699439A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | B·D·斯霍尔滕;S·阿成达;A·阿克丘林;P·安东诺夫;C·H·M·伯尔蒂斯;J·布坎贝格蒂;A-S·M·法利;C·J·马森;R·N·巴勒莫;Y·J·G·范德费韦;J·M·W·范登温凯尔;T·波耶兹 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B24B37/04;B24B37/14;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王璐璐 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于修复光刻工具中的衬底支撑件(60)的多个突出部(20)的顶部表面的被改良的处理工具(100)。所述被改良的处理工具包括修复表面，所述修复表面相对于所述突出部的被平滑的顶部表面是粗糙的，并且所述修复表面具有比所述突出部的所述顶部表面的材料更硬的材料。还提供一种修复方法，所述修复方法使得所述被改良的处理工具的所述修复表面与所述衬底支撑件的所述突出部的所述顶部表面之间发生相互作用，以使这些顶部表面比其在所述相互作用之前更粗糙。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 修复 衬底 支撑 系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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