[发明专利]用于制造包括基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VOx)的敏感材料(15)的微测辐射热计(10)的方法，所述敏感材料包括选自硼(B)、碳(C)的除氮(N)以外的至少一种附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i.确定附加化学元素(B、C)的非零有效量，基于该有效量，在温度Tr下经受暴露持续时间Δtr的敏感材料(15)在环境温度下的电阻率ρa|r大于或等于所述敏感材料(15)的固有值ρa的50％；ii.将所述敏感材料(15)制成薄层，其附加化学元素(B、C)的量大于或等于之前确定的有效量，所述敏感材料是非晶的，并且具有1至30Ω.cm的电阻率；iii.在小于或等于Tr的温度下将所述敏感材料(15)暴露小于或等于Δtr的持续时间。