[发明专利]使用增材制造的互锁用嵌入式特征在审
| 申请号： | 201980012729.1 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111699541A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 奎格·R·钱尼;亚当·M·麦劳克林 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/16 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开阐述一种用于判断半导体制造系统中的组件是否被授权在此系统中使用的方法及装置。通过在组件中嵌入识别特征，控制器可判断此组件是否有资格在系统中使用。在检测到未授权的组件时，系统可向用户报警、或者在某些实施例中，停止操作系统。这种识别特征利用增材制造工艺嵌入到组件中，所述增材制造工艺允许识别特征嵌入到组件中而不使识别特征经受极端温度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 制造 互锁 嵌入式 特征 | ||
【主权项】：
暂无信息
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