[发明专利]接合基板、声表面波元件、声表面波元件设备和接合基板的制造方法在审
申请号: | 201980013303.8 | 申请日: | 2019-02-04 |
公开(公告)号: | CN112005494A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 栗本浩平;岸田和人;茅野林造;水野润;垣尾省司 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本制钢所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;C30B33/02;H03H3/08;C30B29/30 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡秋瑾;宋俊寅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的接合基板具有以与晶体X轴交叉的角度被切割的水晶基板、和在所述水晶基板上进行层叠的压电基板,优选为水晶基板的切割角度相对于晶体X轴具有85~95度的范围的角度,优选为水晶基板的声表面波传播方向相对于晶体Y轴具有15~50度的角度,作为压电基板,优选为使用铌酸锂或钽酸锂,优选为压电基板具有厚度h相对于声表面波的波长λ具有0.02~0.11λ的关系。 | ||
搜索关键词: | 接合 表面波 元件 设备 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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