[发明专利]接合基板、声表面波元件、声表面波元件设备和接合基板的制造方法在审

专利信息
申请号: 201980013303.8 申请日: 2019-02-04
公开(公告)号: CN112005494A 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 栗本浩平;岸田和人;茅野林造;水野润;垣尾省司 申请(专利权)人: 株式会社日本制钢所
主分类号: H03H9/25 分类号: H03H9/25;C30B33/02;H03H3/08;C30B29/30
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 胡秋瑾;宋俊寅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的接合基板具有以与晶体X轴交叉的角度被切割的水晶基板、和在所述水晶基板上进行层叠的压电基板,优选为水晶基板的切割角度相对于晶体X轴具有85~95度的范围的角度,优选为水晶基板的声表面波传播方向相对于晶体Y轴具有15~50度的角度,作为压电基板,优选为使用铌酸锂或钽酸锂,优选为压电基板具有厚度h相对于声表面波的波长λ具有0.02~0.11λ的关系。
搜索关键词: 接合 表面波 元件 设备 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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