[发明专利]用于制造游丝的方法有效
| 申请号： | 201980013834.7 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111758077B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 米歇尔·德斯庞特;弗雷德里克·科勒;奥利维尔·汉兹克尔;让-露丝·柏凯丽 | 申请（专利权）人： | 瑞士CSEM电子显微技术研发中心 |
| 主分类号： | G04D3/00 | 分类号： | G04D3/00;G04B17/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 赵赫;张澜 |
| 地址： | 瑞士纳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的用于制造至少一个游丝(5)的方法包括以下连续步骤：a)提供基板(1)，其在平面(P)中延伸并承载平行于平面(P)的第一层(2)；b)在第一层(2)中形成至少一个通孔(3)；c)在第一层(2)上沉积第二层(4)，第二层(4)填充该至少一个通孔(3)以形成至少一个材料桥(7)；d)在由第二层(4)或基板(l)构成的蚀刻层(6a)中蚀刻至少一个游丝(5)，第二层(4)和基板(l)中的未蚀刻该至少一个游丝(5)的一个构成支撑件(6b)，该至少一个材料桥(7)将该至少一个游丝(5)垂直于平面(P)地连接至支撑件(6b)；e)消除第一层(2)，该至少一个游丝(5)通过该至少一个材料桥(7)保持附接至支撑件(6b)；f)使该至少一个游丝(5)经受至少一次热处理；g)使该至少一个游丝(5)从支撑件(6b)分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 游丝 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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