[发明专利]电子显微镜以及测定试样的观察方法在审
| 申请号： | 201980014792.9 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111758026A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 辛埴;谷内敏之 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东京大学 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227;G02B21/00;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人： | 吴京顺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供可进行非破坏性观察的电子显微镜以及测定试样的观察方法。电子显微镜(1)包括：激光光源(2)，生成CW激光(7)；辐照透镜系统(聚光镜(4)和物镜(6))，向测定试样(30)照射CW激光(7)；能量分析器(22)，按能量对利用CW激光(7)从测定试样(30)释放的光电子进行分离；能量狭缝(23)，使具有预定能量的光电子通过；电子束检测器(25)，对通过能量狭缝(23)的光电子进行检测；第一电子透镜系统(21)，使从测定试样(30)释放的光电子会聚至能量分析器(22)；以及第二电子透镜系统(24)，使通过能量狭缝(23)的光电子投射至电子束检测器(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 以及 测定 试样 观察 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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