[发明专利]氧化锌薄膜形成用组合物和氧化锌薄膜的制造方法

摘要

本发明涉及用于在小于200℃的基材温度通过液滴涂布法形成氧化锌膜的组合物，其含有下述通式(1)所示的有机锌化合物和有机金属化合物，前述有机金属化合物中含有的金属元素是氧化物的带隙小于3.2eV的金属元素。本发明涉及氧化锌膜的制造方法，其包括将该组合物在小于200℃的基材温度进行液滴涂布，形成氧化锌膜。R1‑Zn‑R1 (1)式中，R1是碳数1~7的直链或支链的烷基。根据本发明，通过成膜时的基材温度小于200℃的喷雾涂布法等液滴涂布法，可提供具有紫外线吸收能力、可见光透过性也优异、且膜厚为1μm以下的氧化锌薄膜。