[发明专利]纳米结构薄膜材料及其制造和用途在审
| 申请号： | 201980016261.3 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN111788329A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·辛普森;董伟玲 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技与设计大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B82Y15/00;B82Y30/00;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/02;H01L31/0264;H01L31/0352;G01N21/59;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京世峰知识产权代理有限公司 11713 | 代理人： | 康健;王思琪 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了纳米结构薄膜和用于制造自组织纳米结构薄膜的方法。该方法包括在压力小于大气压的低压室中提供衬底，并沉积等离激元材料与硫属化物材料的构成比大于3:2的等离激元‑硫属化物材料，以在衬底上形成自组织纳米结构薄膜。当等离激元材料在等离激元硫属化物材料中的原子浓度为40％至87％时，形成具有纳米结构的纳米线森林的薄膜。当等离激元材料在等离激元‑硫属化物材料中的原子浓度为87％至95％时，形成纳米多孔薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 薄膜 材料 及其 制造 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新加坡科技与设计大学，未经新加坡科技与设计大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980016261.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双层壳罐和液化气运输船
- 下一篇：用于热交换器的板的扰动装置
- 同类专利
- 专利分类
