[发明专利]石平台的温度调整装置以及具备其的检査装置在审
| 申请号： | 201980016331.5 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111868510A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 米泽良 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;洪秀川 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石平台的温度调整装置以及具备其的检査装置。该石平台的温度调整装置具备配置在设置地板面上的下表面调温面板以及对下表面调温面板的温度进行控制的温度控制部，温度控制部对下表面调温面板的温度进行控制，以使得石平台的上表面与下表面调温面板的表面侧的温度差成为设定值。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 温度 调整 装置 以及 具备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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