[发明专利]用于形成氮化铝层的方法在审
| 申请号： | 201980016437.5 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111869103A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | M·希克;C·赛兰斯克;G·沙因巴谢尔 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H01L41/187;H01L41/316;H03H9/54;H03H9/13;H03H9/17;C01B21/072;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于形成氮化铝层(310，320)的方法包括：提供衬底(100)，并且形成经图案化的金属氮化物层(110)。在衬底的经暴露的部分(101)上形成底部电极金属层(210)。在衬底(100)的经暴露的部分(101)上方生长的氮化铝层部分(320)展现出压电性质。在经图案化的金属氮化物层(110)上方生长的氮化铝层部分(310)没有展现出压电性质(310)。两个氮化铝层部分(320，310)同时生长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 氮化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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