[发明专利]测定背散射电子能谱的装置及方法在审
| 申请号： | 201980016742.4 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111801764A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 嘉藤诚;佐佐木澄夫;田中幸浩;山崎裕一郎 | 申请（专利权）人： | 塔斯米特株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;G01N23/20;H01J37/09;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/29 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 日本神奈川县横浜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 散射 电子 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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