[发明专利]组合模拟及光学显微术以确定检验模式的方法和系统有效
| 申请号： | 201980017027.2 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111819596B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | B·布拉尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T5/00 | 分类号： | G06T5/00;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 当无缺陷实例可用或仅有限数目个缺陷实例可用时，可确定用来检测缺陷的最佳光学检验模式。可使用电磁模拟在多个位点处且针对多种模式确定所关注缺陷的信号。可在所述多个位点及所述多种模式的每一组合下确定所述所关注缺陷的所述信号对噪声的比率。可基于所述比率确定具有优化信号对噪声特性的模式。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 模拟 光学 显微 确定 检验 模式 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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