[发明专利]控制系统和方法在审
| 申请号： | 201980017695.5 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111819741A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | H·P·戈德弗里德;F·埃弗茨;W·P·E·M·奥普特·鲁特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;H01S3/134;G03F7/20;H01S3/097;H01S3/104 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于控制激光器的控制系统，包括：用于感测物理值的传感器，物理值指示由激光器发出的激光束的特性；开关；第一控制器和第二控制器。每个控制器被配置为：从传感器接收又一传感器值；基于接收到的又一传感器值调整接收到的设定点值以给出输出值；并且使激光器根据该输出值进行操作。开关被配置为在控制器之间切换，使得输出值以循环的方式从每个控制器被提供。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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