[发明专利]超快激光制造方法及系统有效
申请号: | 201980017746.4 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN111819500B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 陈世祈;耿强;王迪恩;陈鹏飞;张大鹏 | 申请(专利权)人: | 香港中文大学 |
主分类号: | G03H1/22 | 分类号: | G03H1/22;G03H1/12;G03F7/20 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 中国香*** | 国省代码: | 香港;81 |
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摘要: | 公开了一种激光制造方法和激光制造系统;所述激光制造系统包括:超快激光源,配置为输出激光束;以及数字微镜器件(DMD),配置为接收、整形和扫描所述激光束,其中多于一个的二元全息图被合成以形成应用于所述DMD的扫描全息图。包含一个或多个焦点的、离开所述DMD的经整形的激光束聚焦到样本上以用于快速激光制造。 | ||
搜索关键词: | 激光 制造 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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