[发明专利]检查工具和检查方法在审
| 申请号： | 201980018840.1 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111868632A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | T·J·胡伊斯曼;S·F·伍伊斯特;H·A·迪伦;D·M·C·奥尔斯霍特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种检查半导体样本的方法，样本包括具有多个开口的结构，这些开口位于结构的顶层，方法包括以下步骤：‑使用SEM生成结构的图像；‑通过以下方式检查多个开口中的一个开口：‑基于图像确定开口的尺寸；并且‑基于图像的对比度来确定开口的打开状态；‑基于开口的所确定的尺寸和所确定的打开状态两者来确定开口的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 工具 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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