[发明专利]研磨用组合物有效
| 申请号： | 201980019008.3 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN111868201B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 今宏树 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供如下方法：可以以高的研磨速度对研磨对象物进行研磨、且可以进一步改善该研磨对象物表面的面质。本发明为一种研磨用组合物，其为用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物，其包含氧化铝磨粒和分散介质，前述氧化铝磨粒仅包含α化率为80％以上的α‑氧化铝A和α化率低于80％的α‑氧化铝B作为结晶性氧化铝，前述α‑氧化铝A的平均粒径小于前述α‑氧化铝B的平均粒径。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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