[发明专利]氧化铜纳米传感器在审
申请号: | 201980019017.2 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN111868513A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | M·I·索万;A·J·博尔科维奇;J·威尔尼尔斯;S·施泰因豪尔;Z·兹阿迪 | 申请(专利权)人: | 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 解延雷;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了用于实现基于钌修饰的CuO纳米线在200℃和250℃的温度下的丙酮敏感响应的纳米颗粒沉积的系统和方法。该方法可用于构建传感器。用于构建传感器的方法很容易被广泛地集成到硅技术中,特别是集成到CMOX兼容性器件中。另外,预期这种纳米颗粒沉积方法可以转用于其它MOx纳米线传感器,例如但不限于氧化锌纳米线。 | ||
搜索关键词: | 氧化铜 纳米 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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