[发明专利]检测装置以及检测方法在审

专利信息
申请号: 201980019060.9 申请日: 2019-03-06
公开(公告)号: CN111868500A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 村田晶子;原恒平;佐佐木良树 申请(专利权)人: 松下知识产权经营株式会社
主分类号: G01N1/02 分类号: G01N1/02;B04C5/23;G01N1/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 万利军;段承恩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 检测装置(10)具备:旋风分离器式捕集部(400),其使用回旋气流将气体所含有的粒子捕集到捕集液中;检测部(200),其对通过旋风分离器式捕集部(400)捕集到的粒子进行检测;以及清洗部(500),其使用清洗液对旋风分离器式捕集部(400)进行清洗。清洗部(500)通过产生于旋风分离器式捕集部(400)的回旋气流使清洗液回旋来进行旋风分离器式捕集部(400)的清洗。
搜索关键词: 检测 装置 以及 方法
【主权项】:
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