[发明专利]具有集成的隧道结的垂直腔面发射激光器装置在审
| 申请号： | 201980019325.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112470352A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | U·魏希曼;M·F·C·舍曼 | 申请（专利权）人： | 通快光电器件有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30;H01S5/183 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置(100)。VCSEL装置(100)包括第一电接触体(105)、第二电接触体(150)和光学谐振器。光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、第二分布式布拉格反射器(125)以及用于光发射的有源层(120)。有源层(120)布置在第一分布式布拉格反射器(115)与第二分布式布拉格反射器(125)之间。第一分布式布拉格反射器(115)或第二分布式布拉格反射器(125)包括具有至少一对具有不同折射率的层的第一部分(115‑1、125‑1)和具有至少一对具有不同折射率的层的第二部分(115‑2、125‑2)。第一部分(115‑1、125‑1)和第二部分(115‑2、125‑2)的特征在于具有不同的导电类型。隧道结(130)布置在第一部分(115‑1、125‑1)与第二部分(115‑2、125‑2)之间。第一电接触体(105)和第二电接触体(150)被布置为能够电泵浦光学谐振器，使得隧道结(130)在VCSEL装置(100)的操作期间被反向偏置。隧道结布置在第一分布式布拉格反射器或第二分布式布拉格反射器中的最佳位置。本发明还涉及包括这样的VCSEL装置(100)的一种光学传感器和一种飞行时间传感器模块(200)。最后，本发明涉及一种制造这样的VCSEL装置的相应方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 隧道 垂直 发射 激光器 装置 | ||
【主权项】：
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