[发明专利]等离子体控制系统以及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 201980020153.3 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN111886936B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 岩苔翼 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体控制系统以及计算机可读存储介质，等离子体控制系统包括：高频电源；第一天线，一端部与高频电源连接；第二天线，一端部与第一天线的另一端部连接；第一电抗可变元件，设置于第一天线与第二天线之间；第一电抗可变元件的第一驱动部；第二电抗可变元件，与第二天线的另一端部连接；第二电抗可变元件的第二驱动部；第一电流检测部，检测第二电抗可变元件的第二驱动部、以及第一天线的一端部的电流；第二电流检测部，检测第一天线与第二天线之间流动的电流；第三电流检测部，检测第二天线的另一端部的电流；以及控制装置，控制第一驱动部及第二驱动部。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 控制系统 以及 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日新电机株式会社，未经日新电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980020153.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：矫形器、矫形器组件或假体组件及其制造方法
- 下一篇：刀片和具备它的切削刀具
