[发明专利]晶圆的表面处理方法及用于该方法的组合物

摘要

本发明提供蒸气处理用的新型组合物及使用该新型组合物的蒸气的具有Si元素的晶圆的表面处理方法，该新型组合物为拒水性保护膜形成成分的种类更少的组合物，其可以发挥与利用以往(拒水性保护膜形成成分的种类较多的)组合物的蒸气进行具有Si元素的晶圆表面的处理的情况同等的拒水性赋予效果，化学稳定性优异。本发明的晶圆的表面处理方法的特征在于，其为在表面具有凹凸图案且至少在该凹部具有Si元素的晶圆的清洗中，在上述凹凸图案的至少凹部保持有液体的状态下，将含有拒水性保护膜形成成分和溶剂的组合物的蒸气供给至上述凹凸图案表面，使上述蒸气的状态变为液体状态，将保持于上述凹部的液体置换为该组合物的液体，从而至少在上述凹部表面形成拒水性保护膜的方法，上述拒水性保护膜形成成分仅为下述通式[1]所示的化合物，上述溶剂至少含有非环状碳酸酯，溶剂总量中的上述非环状碳酸酯的量为50～100质量％。[式[1]中，R1分别独立为选自H基、碳数为1～10的烃基及氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳数为1～10的烃基的基团；x为1～3的整数。R2分别相互独立为选自氢原子的一部分或全部任选被氟原子取代的甲基、乙基、乙酰基的基团]。R1x(CH3)3‑xSiN(R2)2[1]。