[发明专利]流量控制装置在审
| 申请号： | 201980020691.2 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111936948A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 石井守 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种流量控制装置，具有：基体，在其内部设有气体流路；流量传感器，其测量流向流路的气体的流量；及至少两个流量控制阀，它们控制流向流路的气体的流量，以检测流向流路的气体的总流量的方式构成流量传感器，使流路的中途部分分支成至少两条支流路，分别在这些支流路安装至少一个所述流量控制阀。由此，即使在无法增大初级侧压力P |
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| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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