[发明专利]具有低的多烷基污染的单烷基锡化合物、其组合物和方法在审

专利信息
申请号: 201980020757.8 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN112088335A 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 约瑟夫·B·埃德森;托马斯·J·兰金;威廉·艾利;杜鲁门·曼巴赫;杰瑞米·T·安德森 申请(专利权)人: 因普利亚公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;C07F7/22
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李新红
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 纯组合物包含由化学式RSn(OR’)3表示的单烷基锡三烷氧化物化合物或由化学式RSn(NR’2)3表示的单烷基锡三胺基化物化合物,和相对于总锡量计不超过4摩尔%的二烷基锡化合物,其中R为具有1至31个碳原子的烃基,并且其中R’为具有1至10个碳原子的烃基。描述了用于形成该纯组合物的方法。固体组合物包含由化学式RSn‑(NR’COR”)3表示的单烷基三酰胺基锡化合物,其中R为具有1至31个碳原子的烃基,并且其中R’和R”独立地为具有1至10个碳原子的烃基。所述组合物适合于形成适用于EUV图案化的抗蚀剂组合物,其中所述组合物具有高EUV吸收。
搜索关键词: 具有 烷基 污染 化合物 组合 方法
【主权项】:
暂无信息
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