[发明专利]具有改进的顺应性的电互连在审
申请号: | 201980021136.1 | 申请日: | 2019-05-21 |
公开(公告)号: | CN111937145A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | S·K·阿卢尔;S·C·J·查瓦利 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/532 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 邬少俊 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本公开的各种实施例,公开了一种具有衬底的导电柱。导电柱可以包括第一部分、第二部分和第三部分。第一部分和/或第三部分可以由可以相同或不同的导电材料形成。第二部分可以在第一部分和第三部分中间并且邻接第一部分和第三部分两者。第二部分可以包括由第二导电材料形成的焊料元件,第二导电材料不同于所述导电材料并且具有小于所述导电材料的刚度的第二刚度。 | ||
搜索关键词: | 具有 改进 顺应性 互连 | ||
【主权项】:
暂无信息
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