[发明专利]PZT材料结晶层的制造方法和外延生长PZT材料结晶层的衬底在审
| 申请号： | 201980021417.7 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111918986A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 布鲁诺·吉瑟兰 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/18;C30B29/22;H01L21/762;C30B33/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 龚泽亮;庞东成 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于生产PZT材料的结晶层的方法，其包括将SrTiO |
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| 搜索关键词： | pzt 材料 结晶 制造 方法 外延 生长 衬底 | ||
【主权项】：
暂无信息
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