[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件在审
| 申请号： | 201980021964.5 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111936930A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 福原敏明;井上遥菜;吉田健太 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F2/48;C08G73/10;C08G73/12;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/32;G03F7/40;C07C225/20;C07C229/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，其中，所述感光性树脂组合物含有含杂环聚合物的前体、热碱产生剂及自由基聚合性化合物，上述含杂环聚合物的前体具有自由基聚合性基团，上述自由基聚合性化合物包括选自如下组中的至少1个自由基聚合性化合物，该组中包含具有4个以上聚合性官能团的化合物及具有3个聚合性官能团并且分子量为400以下的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 层叠 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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