[发明专利]用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法在审
| 申请号： | 201980022585.8 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN111919516A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | T·W·德赖森;A·I·厄肖夫;B·罗林格;G·O·瓦申科;K·G·温克尔斯;D·U·H·特雷斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生被引导至照射区域的激光束和液滴源的布置。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有可电致动元件的子系统，该可电致动元件在流体中产生扰动。液滴源产生束流，该束流分裂成液滴，当液滴朝向照射区域行进时，这些液滴又聚结成较大液滴。通过在束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察束流来控制该过程。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监测 控制 生成器 性能 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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