[发明专利]试样观察装置有效
| 申请号： | 201980023169.X | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111971607B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 小林正典;山本谕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B3/06;G02B5/04;G02B21/06;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 试样观察装置(1)包括：对试样(S)照射面状光(L2)的照射光学系统(3)；以通过面状光(L2)的照射面(R)的方式在一个方向上扫描试样(S)的扫描部(4)；具有相对于照射面(R)倾斜的观察轴(P2)且使通过面状光(L2)的照射而在试样(S)产生的观察光(L3)成像的成像光学系统(5)；取得与由成像光学系统(5)成像的观察光(L3)的光学图像对应的图像数据(31)的图像取得部(6)；和基于由图像取得部(6)取得的图像数据(31)，生成试样(S)的观察图像数据(32)的图像生成部(8)，成像光学系统(5)具有将观察光(L3)的一个轴的光线(L3a)弯曲而不将与该一个轴正交的另一个轴的光线(L3b)弯曲的非轴对称的光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 观察 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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