[发明专利]用于具有滑动层的单体化的半导体管芯的测试设备在审

专利信息
申请号: 201980023222.6 申请日: 2019-04-05
公开(公告)号: CN113015912A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 克里斯多夫·赖特 申请(专利权)人: AMS有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/28;G01R3/00
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于单体化的半导体管芯的测试设备,包括嵌套框架(1)和底部部件(2),该嵌套框架和底部部件形成适合于半导体管芯(7)的尺寸的测试装置嵌套件。推动装置(4),其被设置用于将半导体管芯(7)在测试装置嵌套件中对准。底部部件(2)上的工程塑料层(3)形成表面,半导体管芯(7)在其对准期间在该表面上滑动。
搜索关键词: 用于 具有 滑动 单体 半导体 管芯 测试 设备
【主权项】:
暂无信息
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