[发明专利]用于基片的选择性蒸气涂覆的装置和方法有效
| 申请号： | 201980023689.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111936661B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 鲁道夫·麦勒尔;克里斯托弗·博尔奎安 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;F01D5/28;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用在涂覆作业中的装夹工具(1)，其优选呈可绕中心轴线(L)回转的转盘形式，并且包括固定有屏罩的支承结构(5)，该屏罩具有多个保持开口(19)，每个保持开口被设计成待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住，使得每个物体的第一部分从该屏罩延伸入涂层沉积区域，而每个物体的第二部分从该屏罩延伸入不发生涂层沉积的屏蔽区域，所述屏蔽区域是共同容纳多个第二部分的共用空腔(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 选择性 蒸气 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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