[发明专利]透明工件堆叠体的选择性激光加工有效

专利信息
申请号: 201980023875.4 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN111936434B 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: U·斯图特 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: C03B33/02 分类号: C03B33/02;B23K26/18;C03B33/07;B23K26/359;B23K26/352;B23K26/53;B23K26/0622;B23K103/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张璐;乐洪咏
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种加工透明工件(160、260、360)的方法包括:在透明工件(160、260、360)之中或之上形成光学改性区域(240、340);以及在透明工件(160、260、360)中形成轮廓(170、270),所述轮廓(170、270)具有在透明工件(160、260、360)中的多个缺陷(172、272),其与光学改性区域(240、340)侧向偏置定位。形成轮廓(170、270)包括:将沿着光束路径(111)取向的作为准无衍射光束的主激光束(212)引导到透明工件(160、260、360)上,以将主激光束(212)的第一散焦部分(216a)引导到透明工件(160、260、360)中,从而在透明工件(160、260、360)内产生诱导吸收,以在透明工件(160、260、360)内产生缺陷(172、272);以及通过光学改性区域(240、340)改变主激光束(212)的第二散焦部分(216b)。另外,使透明工件(160、260、360)和主激光束(212)沿着轮廓线(165、265)相对于彼此平移,并且从光学改性区域(240、340)侧向偏置。
搜索关键词: 透明 工件 堆叠 选择性 激光 加工
【主权项】:
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