[发明专利]大型活动区高速检测器的架构在审
| 申请号： | 201980024025.6 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN112005334A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王勇新;董仲华;赖瑞霖 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了检测器和检测系统。衬底包括：多个感测元件(311‑313)，包括多个第一感测元件和多个第二感测元件；以及被配置为将多个第一感测元件连接到输出并且将多个第二感测元件连接到输出的多个部段(321‑324)。可以在感测元件之间提供被配置为连接两个或更多个感测元件的开关区域。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量和/或束强度的电子而生成的信号来控制开关区域。 | ||
| 搜索关键词： | 大型活动 高速 检测器 架构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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