[发明专利]包括电极线的离子引导件和离子束沉积系统在审
| 申请号： | 201980024208.8 | 申请日： | 2019-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN111937115A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 托比亚斯·卡波西;哈特穆特·施利希廷;约翰内斯·巴斯;安德烈亚斯·沃尔兹 | 申请（专利权）人： | 慕尼黑科技大学 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本文公开了用于沿着离子路径引导离子束的离子引导件(36)，所述离子引导件(36)具有对应于所述离子路径的纵轴(44)，所述离子引导件(36)包括围绕所述纵轴(44)布置并沿着所述纵轴(44)延伸的多个长型电极，其中，多个电极中的内包络线(120)限定离子引导容积(128)。所述长型电极由电极线(42)形成，其中，相邻的电极线(42)以线间距离(122)布置。离子引导件(36)包括用于通过施加张力或保持施加至电极线(42)的张力来支承和矫直电极线(42)的保持结构。所述保持结构的与所述离子引导容积相隔小于局部线间距离(122)的任何部分均由电阻率小于10 |
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| 搜索关键词： | 包括 电极 离子 引导 离子束 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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