[发明专利]用于功率发生器的自适应控制在审

专利信息
申请号: 201980024263.7 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN111954916A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 戴维·J·库莫;Y·埃尔纳;昂·托埃;丹尼尔·M·吉尔;埃尔德里奇·M·芒特;肖恩·史密斯 申请(专利权)人: MKS仪器有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;宋志强
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种电源控制系统包括用于向负载提供信号的功率发生器。功率发生器包括控制功率放大器的功率控制器。功率发生器包括用于改变控制功率放大器的输出信号的自适应控制器。自适应控制器比较测量输出与预测输出之间的误差,以确定应用于功率控制器的自适应值。功率发生器还包括产生被数字化和处理的输出信号的传感器。传感器信号与常量K混合。改变常量K,以改变对传感器输出信号的处理。K值可基于相位、频率或相位和频率两者进行换向,并且K的带宽由传感器输出信号中的耦合功率来确定。
搜索关键词: 用于 功率 发生器 自适应 控制
【主权项】:
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